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邓海博士出席东方科技论坛第356次学术研讨会“集成电路关键材料的现状及解决方案”研讨会
发布时间:2021-11-05

   1023日,由上海市人民政府、中国科学院和中国工程院主办,中国科学院上海有机化学研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所承办的第356期“东方科技论坛”在中国科学院上海分院召开。本次论坛主题为“集成电路关键材料的现状及解决方案”,沈其龙研究员、俞文杰研究员和刘学建研究员担任会议主席。共有来自中科院科研院所、高等院校、化工及半导体企业等14家单位的60余位嘉宾和研讨专家参会。  

东方科技论坛理事长、中科院上海分院院长胡金波在致辞中希望,论坛能紧紧围绕集成电路关键材料研发中的挑战与难点,集思广益、攻坚克难,为保障国家安全和国民经济发展贡献力量。

   “一代材料、一代工艺、一代产品”,集成电路产业中材料的水平决定了芯片的制程,进而决定了芯片的数据处理能力,因此,也深刻影响了我国民生、军事、航天等各个领域的不同层面。集成电路产业是上海市重点发展的三大战略性先导产业之一,上海市也已经作出了将集成电路产业作为上海市建设具有全球影响力科学创新中心的重要抓手之一的战略决策,因此集成电路产业链的每一个“产”“学”“研”环节正面临着新一轮的历史性发展机遇。

在大会报告环节,首先由复旦大学邓海教授作开场报告,其介绍了关于ArF光刻胶以及高速图形化材料的研发成果。随后,中科院上海有机所的沈其龙研究员介绍了ArF光刻胶的关键材料以及相关技术,中科院上海有机所的吴永明研究员介绍了氟化工产品在集成电路产业中的应用。接下来,上海华力微电子有限公司的曹永峰总监、中科院上海微系统所的李卫民研究员和宋三年研究员围绕晶圆制造中的关键材料研发进行了学术报告。上海微电子公司的朱岳彬经理和中科院上海硅酸盐所的刘学建研究员和姜大朋副研究员围绕光刻机核心材料的研制进行了学术报告和探讨。

   参会专家们共同就如何解决集成电路关键材料的研发进行了学术分享和热烈讨论,为实现我国彻底解决集成电路关键材料“卡脖子”问题和关键核心技术实现自强自立献计献策。在最后的圆桌会议上,参会专家围绕集成电路关键材料的研发中遇到的问题:如何实现产、学、研更紧密的结合,关键材料研发中所使用的关键器具对于进口的依赖以及国内对于关键原材料的供应以及质量保证问题进行了深入的讨论。最后,沈其龙研究员作了总结发言,并向参会代表以及论坛工作人员表示由衷感谢,

通过举办这次论坛,让 “产”“学”“研”各环节中学术界以及产业界的专家进一步了解集成电路产业链中材料的相关问题,探索研究机构通过科技创新提供相应的解决方案并转化为生产力的有效途径,本次论坛也为集成电路产业链探讨合作共赢提供一个良好的平台,必将对上海市的集成电路产业崛起产生积极的推动作用。

 

 

                                                                                                                        (前排左四为邓博海士)

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